Investigation of Aluminum Incorporation in 4H-SiC Epitaxial Layers Auteur(s): Arvinte Roxana, Zielinski Marc, Chassagne Thierry, Portail Marc, Michon Adrien, Kwasnicki P., Juillaguet S., Peyre H.
Conference: HETEROSIC 2013 (Nice, FR, 2013-06-13) Ref HAL: hal-01936612_v1 DOI: 10.4028/www.scientific.net/MSF.806.45 Exporter : BibTex | endNote Résumé: Investigation of Aluminum Incorporation in 4H-SiC Epitaxial Layers |